Automatisierungstechnik für die Halbleiter- und Elektroindustrie

Wafer Handling

Wafer Handling und Wafer Processing-Lösungen von Bosch Rexroth sorgen für die perfekte Abstimmung zwischen hochdynamischen Servoantrieben, hochsteifen Linearsubsystemen und pneumatischen Stellantrieben – mit hoher Steifigkeit und ohne Überschwingung oder Spiel. So reduzieren Sie unproduktive Leerlaufzeiten und können die Handhabung für alle Front-End-Vorgänge standardisieren. Zudem verhindern vordefinierte Algorithmen in den Motion-Control-Systemen das Entstehen von Schwingungen. Und reibungslosere Bewegungsabläufe ermöglichen komplexere Bewegungsprofile und Spline-Funktionen.

Wafer Stages

Unser Wafer Stages-Programm ist für präziseste Bewegungssteuerung im Nanometerbereich konzipiert und damit ideal für die Ausrichtung, Positionierung und Prüfung von Wafern während der Qualitätskontrolle. Mit einer Auflösung von 1-5 nm und langsamer, gleichmäßiger Bewegung bei ≥ 50 nm/s garantiert das Bewegungssteuerungssystem MPC ein Höchstmaß an Präzision. Spezielle Servomotoren sowie eisenlose Linear- und Drehmomentmotoren sorgen für verbesserte dynamische Leistung. Hochpräzise Linearführungen eliminieren jede Schwingung. Abgerundet wird das Automatisierungspaket durch ein pneumatisches Subsystem. Komplexere Bewegungsprofile und Spline-Funktionen erzeugen reibungslosere Bewegungsabläufe.

Flexibles Transportsystem

Das vereinfachte und unter schwierigsten Bedingungen einsatzfähige Transportsystem FTS von Rexroth beinhaltet ein externes, berührungsloses Bewegungssystem. Außerhalb der Kammer angebrachte Spulen treiben magnetische Träger an, die keine Dichtungen erfordern. Zudem erhöht die externe Anbringung die Verfügbarkeit. Diese Lineartechnik ist für praktisch alle Lastfaktoren, Präzisionsstufen und Bewegungsprofile geeignet. Das System ist äußerst flexibel und erlaubt die Vorwärts- und Rückwärtsbewegung der einzelnen Träger mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten.

Gantry

Die Gantry-Systeme von Bosch Rexroth sorgen für die verwindungsfreie und hochpräzise Positionierung von Flachbildschirmen oder Solarmodulen. Die Produktpalette umfasst Komponenten für eine Vielzahl von Größen und Nutzlasten. Das Bewegungssteuerungssystem sorgt ohne jede mechanische Verbindung für die hochdynamische und präzise Koordination zweier Achsen mit jeweils eigenem Regelkreis. Dabei gewährleistet die Sercos-basierte Echtzeitsynchronisation maximale Konturgenauigkeit.

Registration

Servomotorantriebe für höhere Genauigkeit, Geschwindigkeit und Maschinenleistung mit nahtlosem Formatwechsel. Hochdynamische Servoantriebe und kompakte Lineartechnik minimieren die Zuführzeiten während des Formatwechsels. Dank stufenlosem elektronischem Getriebe und Registerregler werden Formatwechsel ohne Verzögerung durchgeführt.

Mehrzonen-Bahnspannungsregelung

Stabilere Produktionsprozesse durch Regelung der Bahnspannung in mehreren Zonen. Moderne Roll-to-Roll-Maschinen benötigen für einen stabilen und zuverlässigen Produktionsprozess verschiedene Bahnspannungszonen. Diese werden durch die Mehrzonen-Bahnspannungsregelung von Rexroth in einer Maschine mithilfe einer speziellen Entkoppelungstechnik bereitgestellt.

Bahnspeicher

Für kurzzeitiges Anhalten eines Bahnabschnitts etwa bei Inspektionsarbeiten, den kontinuierlichen Bahntransport in der gesamten Anlage und höhere Produktivität durch kürzere Taktzeiten.

Laminierprozess

Das Laminieren – also das Verbinden mehrerer Folienschichten mit einem Trägermaterial – erfordert eine hohe Bahngeschwindigkeit bei großflächig exakter Bahnspannung. Die offene Systemarchitektur ermöglicht die einfache Integration von Fremdkomponenten. Kompakte Schaltschränke verringern die Stellfläche der Maschine.

Laserprozess

Leistungsstarke, Controller-basierte Steuerungssysteme von Bosch Rexroth ermöglichen die Laserbearbeitung bei kontinuierlichem Bahntransport. Kontinuierlicher Bahntransport in der Maschine, höhere Produktivität der Maschine durch kürzere Taktzeiten, niedrigere Kosten und Wegfall des Schaltschranks durch Verzicht auf ein zusätzliches Steuerungssystem.

Beschichtungsprozess

Besonders bei OLED-Beleuchtungsanwendungen ist ein partikelfreier Substrattransport für den Beschichtungsprozess absolut entscheidend. Zu diesem Zweck bietet Rexroth das flexible Transportsystem FTS für lineare Verfahrbewegungen an, das unter Hochvakuumbedingungen eingesetzt werden kann. Es sondert keine Fremdpartikel ab und verbessert so die Qualität der Beschichtungsprozesse. Außerhalb der Kammer angebrachte Spulen treiben magnetische Träger an. Die externe Anbringung aller elektrischen Komponenten macht Dichtungen unnötig und erhöht die Verfügbarkeit.

Energie und Ressourcen sparen

Plastic Electronics ‚von der Rolle‘ – so lässt sich die Produktion faltbarer oder organischer Displays, aufrollbarer Tablet-PCs, organischer Solarzellen auf flexiblen Trägermaterialien oder gedruckter RFID-Chips beschreiben. Die Produkte werden wie Zeitungen in einem Verfahren gedruckt, das umweltfreundlich, ressourcenschonend, kostensparend und für die Massenproduktion geeignet ist. Diese Technologie ist auf dem Weg zur Serienreife und macht vollkommen neue Produkte möglich.

Konfigurierbar

Mit seinem flexiblen Transportsystem FTS setzt Bosch Rexroth neue Maßstäbe in Sachen Konfigurierbarkeit: Bei diesem System sind alle elektronischen Teile außerhalb der Prozesskammer angebracht. Dadurch können die Wafer berührungslos durch die geschlossene Prozesskammer geführt werden. Das System ist einfach zu warten, und die Steuereinheit ermöglicht eine Vielzahl weiterer Bewegungsabläufe.

Branchenerfahrung

Bosch Rexroth hat schon immer frühzeitig Zukunftstechnologien aufgegriffen und Entwicklungen vorangetrieben. Ein Beispiel dafür ist die Solarindustrie, die eine solide Grundlage für die Weiterentwicklung von Plastic Electronics darstellt. Für die Bewältigung der neuen Aufgaben in diesem Bereich wird solides Know-how in zwei Industriezweigen benötigt: Druck und Elektronik. Bosch Rexroth verfügt über langjährige Erfahrung in beiden Anwendungsumgebungen und ist sowohl mit den Beschichtungsprozessen in der Elektronikindustrie als auch mit den klassischen Herstellungsverfahren der Druckindustrie bestens vertraut.

Ersatzteile

Bosch Rexroth bietet eine breite Palette von Serviceleistungen in der Reparatur, Wartung und Modernisierung verschiedenster Maschinen.

Reparaturen

Schnelle und zuverlässige Reparatur statt teurem Austausch – Nach einer schnellen Reparatur können die Maschine und die Produktion rasch weiterlaufen.

Field-Service

Sie brauchen Hilfe vor Ort? Unser Bosch Rexroth Field-Service unterstützt Sie im laufenden Betrieb.

Modernisierung

Wir machen aus alt neu und aus neu noch neuer! Dank unserer Kompetenz können wir die Lebensdauer Ihrer Produktlinie mit Nachrüstungslösungen erheblich verlängern – bei voller Produktivität.